本實(shí)用新型涉及退火爐技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于模具鋼的退火爐。

　　背景技術(shù)：

　　退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能；熱處理是針對不同的效果而設(shè)計(jì)的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底；退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計(jì)的設(shè)備完成的；熱處理爐分為退火爐、淬火爐、回火爐、正火爐、調(diào)質(zhì)爐，主要用于大型碳鋼、合金鋼零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除應(yīng)力退火、時(shí)效等熱處理工藝。加熱方式有電加熱、燃油、燃?xì)狻⑷济骸犸L(fēng)循環(huán)；退火爐是一種新型換熱設(shè)備；退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結(jié)構(gòu)，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60％。

　　但是，現(xiàn)有的臺車式退火爐的運(yùn)輸爐車會隨材料一同進(jìn)入內(nèi)部進(jìn)行加工，所以爐體本身的密封性無法得到保障；因此，不滿足現(xiàn)有的需求，對此我們提出了一種用于模具鋼的退火爐。

　　技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

　　本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于模具鋼的退火爐，以解決上述背景技術(shù)中提出的臺車式退火爐的運(yùn)輸爐車會隨材料一同進(jìn)入內(nèi)部進(jìn)行加工，所以爐體本身的密封性無法得到保障使用的問題。

　　為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種用于模具鋼的退火爐，包括退火爐主體，所述退火爐主體的兩側(cè)均設(shè)置有爐體支撐柱，且爐體支撐柱有兩個，所述退火爐主體的一端設(shè)置有退火爐爐門，所述退火爐主體的內(nèi)部設(shè)置有爐腔，所述爐腔的內(nèi)部設(shè)置有電加熱管，且電加熱管有兩個，所述爐腔的外側(cè)設(shè)置有耐火磚體，所述耐火磚體的外側(cè)設(shè)置有退火爐外體，所述爐腔的上方設(shè)置有排煙道，所述退火爐主體的底部設(shè)置有電動升降柱，且電動升降柱有多個，所述電動升降柱的下方設(shè)置有退火爐底臺，所述退火爐底臺上方的外表面設(shè)置有第一滑道，且第一滑道有兩個，所述第一滑道的兩側(cè)均設(shè)置有料板架，所述第一滑道的一端設(shè)置有第二滑道，所述第二滑道的下方設(shè)置有支撐底座，所述第二滑道的上方設(shè)置有金屬移動輪，且金屬移動輪有多個，所述金屬移動輪的上方設(shè)置有運(yùn)輸爐車，所述運(yùn)輸爐車頂部的兩端均設(shè)置有電動千斤頂，且電動千斤頂有四個，所述電動千斤頂?shù)纳戏皆O(shè)置有放料板。

　　優(yōu)選的，所述退火爐主體與爐體支撐柱焊接連接，所述退火爐主體與退火爐爐門通過電動滑軌滑動連接。

　　優(yōu)選的，所述爐腔與電加熱管通過螺釘連接，所述電動升降柱與退火爐主體通過凹槽連接。

　　優(yōu)選的，所述料板架與退火爐主體焊接連接，所述退火爐底臺與第一滑道通過螺釘連接。

　　優(yōu)選的，所述第二滑道與支撐底座通過螺釘連接，所述電動升降柱與退火爐底臺通過螺栓連接。

　　優(yōu)選的，所述運(yùn)輸爐車與金屬移動輪通過支架連接，所述運(yùn)輸爐車與電動千斤頂通過螺栓連接。

　　與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

　　本實(shí)用新型的退火爐主體通過兩側(cè)的支撐柱對其進(jìn)行固定支撐，使退火爐底臺的底部要高于安裝地面，當(dāng)進(jìn)行使用時(shí)，其底部的升降柱會將底臺下降，使表面的滑道與支撐底座的上的滑道對接，之后爐車將放置材料的放料板頂起輸送到爐腔內(nèi)，將放料板放置在料板架上后退出，這時(shí)底臺會上升并關(guān)閉爐門，從而對材料進(jìn)行退火加工，這樣不僅可以最大程度上的保障退火爐整體的密封性，同時(shí)也避免爐車隨材料一同進(jìn)行退火加工，影響爐車本身的使用壽命。

　　附圖說明

　　圖1為本實(shí)用新型的整體主視圖；

　　圖2為本實(shí)用新型的運(yùn)輸爐車結(jié)構(gòu)示意圖；

　　圖3為本實(shí)用新型的爐腔剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

　　圖中：1、退火爐主體；2、退火爐爐門；3、退火爐底臺；4、電動升降柱；5、料板架；6、第一滑道；7、放料板；8、支撐底座；9、第二滑道；10、金屬移動輪；11、電動千斤頂；12、運(yùn)輸爐車；13、爐體支撐柱；14、爐腔；15、耐火磚體；16、退火爐外體；17、電加熱管；18、排煙道。

　　具體實(shí)施方式

　　下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。

　　請參閱圖1-3，本實(shí)用新型提供的一種實(shí)施例：一種用于模具鋼的退火爐，包括退火爐主體1，退火爐主體1的兩側(cè)均設(shè)置有爐體支撐柱13，起到支撐作用，且爐體支撐柱13有兩個，退火爐主體1的一端設(shè)置有退火爐爐門2，退火爐主體1的內(nèi)部設(shè)置有爐腔14，爐腔14的內(nèi)部設(shè)置有電加熱管17，且電加熱管17有兩個，提供熱量，爐腔14的外側(cè)設(shè)置有耐火磚體15，耐火磚體15的外側(cè)設(shè)置有退火爐外體16，爐腔14的上方設(shè)置有排煙道18，退火爐主體1的底部設(shè)置有電動升降柱4，控制退火爐底臺3的上升和下降，且電動升降柱4有多個，電動升降柱4的下方設(shè)置有退火爐底臺3，退火爐底臺3上方的外表面設(shè)置有第一滑道6，且第一滑道6有兩個，第一滑道6的兩側(cè)均設(shè)置有料板架5，對放料板7進(jìn)行支撐，第一滑道6的一端設(shè)置有第二滑道9，第二滑道9的下方設(shè)置有支撐底座8，第二滑道9的上方設(shè)置有金屬移動輪10，且金屬移動輪10有多個，金屬移動輪10的上方設(shè)置有運(yùn)輸爐車12，運(yùn)輸爐車12頂部的兩端均設(shè)置有電動千斤頂11，便于裝卸放料板7，且電動千斤頂11有四個，電動千斤頂11的上方設(shè)置有放料板7，承載所需加工的材料。

　　進(jìn)一步，退火爐主體1與爐體支撐柱13焊接連接，對退火爐主體1進(jìn)行支撐，退火爐主體1與退火爐爐門2通過電動滑軌滑動連接，便于使用。

　　進(jìn)一步，爐腔14與電加熱管17通過螺釘連接，電動升降柱4與退火爐主體1通過凹槽連接，便于進(jìn)行安裝。

　　進(jìn)一步，料板架5與退火爐主體1焊接連接，退火爐底臺3與第一滑道6通過螺釘連接，便于材料的輸送。

　　進(jìn)一步，第二滑道9與支撐底座8通過螺釘連接，電動升降柱4與退火爐底臺3通過螺栓連接，增強(qiáng)穩(wěn)定性。

　　進(jìn)一步，運(yùn)輸爐車12與金屬移動輪10通過支架連接，增強(qiáng)穩(wěn)定性，運(yùn)輸爐車12與電動千斤頂11通過螺栓連接，便于進(jìn)行安裝。

　　工作原理：使用時(shí)，將放料板7平放在四個電動千斤頂11上，再將所需加工的材料放置在放料板7上，當(dāng)材料放置結(jié)束后，通過控制使退火爐主體1底部的電動升降柱4下降，將退火爐底臺3與地面進(jìn)行接觸，當(dāng)退火爐底臺3下降后，第一滑道6就會與支撐底座8上的第二滑道9進(jìn)行對接，然后是運(yùn)輸爐車12沿著滑道進(jìn)行移動，同時(shí)控制電動千斤頂11向上抬起，使放料板7的底部高于退火爐主體1內(nèi)側(cè)的料板架5，當(dāng)運(yùn)輸爐車12完全進(jìn)入退火爐主體1后，使電動千斤頂11下降，將放料板7放置在料板架5上，之后運(yùn)輸爐車12退出退火爐主體1內(nèi)部，最后將退火爐底臺3升起，同時(shí)將退火爐爐門2關(guān)閉進(jìn)行退火加工，加工好后運(yùn)輸爐車12再將放料板運(yùn)出。

　　對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。

　　技術(shù)特征：

　　1.一種用于模具鋼的退火爐，包括退火爐主體(1)，其特征在于：所述退火爐主體(1)的兩側(cè)均設(shè)置有爐體支撐柱(13)，且爐體支撐柱(13)有兩個，所述退火爐主體(1)的一端設(shè)置有退火爐爐門(2)，所述退火爐主體(1)的內(nèi)部設(shè)置有爐腔(14)，所述爐腔(14)的內(nèi)部設(shè)置有電加熱管(17)，且電加熱管(17)有兩個，所述爐腔(14)的外側(cè)設(shè)置有耐火磚體(15)，所述耐火磚體(15)的外側(cè)設(shè)置有退火爐外體(16)，所述爐腔(14)的上方設(shè)置有排煙道(18)，所述退火爐主體(1)的底部設(shè)置有電動升降柱(4)，且電動升降柱(4)有多個，所述電動升降柱(4)的下方設(shè)置有退火爐底臺(3)，所述退火爐底臺(3)上方的外表面設(shè)置有第一滑道(6)，且第一滑道(6)有兩個，所述第一滑道(6)的兩側(cè)均設(shè)置有料板架(5)，所述第一滑道(6)的一端設(shè)置有第二滑道(9)，所述第二滑道(9)的下方設(shè)置有支撐底座(8)，所述第二滑道(9)的上方設(shè)置有金屬移動輪(10)，且金屬移動輪(10)有多個，所述金屬移動輪(10)的上方設(shè)置有運(yùn)輸爐車(12)，所述運(yùn)輸爐車(12)頂部的兩端均設(shè)置有電動千斤頂(11)，且電動千斤頂(11)有四個，所述電動千斤頂(11)的上方設(shè)置有放料板(7)。

　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于模具鋼的退火爐，其特征在于：所述退火爐主體(1)與爐體支撐柱(13)焊接連接，所述退火爐主體(1)與退火爐爐門(2)通過電動滑軌滑動連接。

　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于模具鋼的退火爐，其特征在于：所述爐腔(14)與電加熱管(17)通過螺釘連接，所述電動升降柱(4)與退火爐主體(1)通過凹槽連接。

　　4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于模具鋼的退火爐，其特征在于：所述料板架(5)與退火爐主體(1)焊接連接，所述退火爐底臺(3)與第一滑道(6)通過螺釘連接。

　　5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于模具鋼的退火爐，其特征在于：所述第二滑道(9)與支撐底座(8)通過螺釘連接，所述電動升降柱(4)與退火爐底臺(3)通過螺栓連接。

　　6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于模具鋼的退火爐，其特征在于：所述運(yùn)輸爐車(12)與金屬移動輪(10)通過支架連接，所述運(yùn)輸爐車(12)與電動千斤頂(11)通過螺栓連接。

　　技術(shù)總結(jié)

　　本實(shí)用新型公開了一種用于模具鋼的退火爐，涉及退火爐技術(shù)領(lǐng)域，為解決現(xiàn)有技術(shù)中的臺車式退火爐的運(yùn)輸爐車會隨材料一同進(jìn)入內(nèi)部進(jìn)行加工，所以爐體本身的密封性無法得到保障使用的問題。所述退火爐主體的兩側(cè)均設(shè)置有爐體支撐柱，且爐體支撐柱有兩個，所述退火爐主體的一端設(shè)置有退火爐爐門，所述退火爐主體的內(nèi)部設(shè)置有爐腔，所述爐腔的內(nèi)部設(shè)置有電加熱管，且電加熱管有兩個，所述爐腔的外側(cè)設(shè)置有耐火磚體，所述耐火磚體的外側(cè)設(shè)置有退火爐外體，所述爐腔的上方設(shè)置有排煙道，所述退火爐主體的底部設(shè)置有電動升降柱，且電動升降柱有多個，所述電動升降柱的下方設(shè)置有退火爐底臺，所述退火爐底臺上方的外表面設(shè)置有第一滑道。

　　技術(shù)研發(fā)人員：周光富;余紅慶;周立新

　　受保護(hù)的技術(shù)使用者：湖北日盛科技有限公司

　　技術(shù)研發(fā)日：2019.03.13

　　技術(shù)公布日：2019.11.22